(1) Perawatan pra-PVD, termasuk pembersihan barang dan perawatan awal.Metode pembersihan khusus termasuk pembersihan deterjen, pembersihan pelarut kimia, pembersihan ultrasonik, dan pembersihan bombardir ion.
(2) Masukkan ke dalam tungku, termasuk pembersihan dan perlengkapan ruang vakum, dan pemasangan, commissioning, dan koneksi item dan perlengkapan.
(3) Penyedot debu, umumnya memompa hingga 6.6Pa atau lebih, buka bagian depan pompa difusi lebih awal untuk mempertahankan pompa vakum dan memanaskan pompa difusi.Setelah pemanasan awal cukup, katup tinggi dibuka dan dipompa ke vakum setengah bawah 6 x 10-3 Pa dengan pompa difusi.
(4) Baking, memanggang item ke suhu yang diinginkan.
(5) Pengeboman ion, vakum umumnya 10 Pa hingga 10-1 Pa, tegangan pengeboman ion adalah tegangan tinggi negatif 200 V hingga 1 KV, dan waktu serangan adalah 15 menit hingga 30 menit.
(6) Pra-pelelehan, sesuaikan arus untuk pra-lelehkan material, sesuaikan arus untuk melelehkan pelapisan dan degassing selama 1 menit ~ 2 menit.Deposisi penguapan.Arus evaporasi diatur sesuai kebutuhan sampai waktu deposisi yang diinginkan selesai.Pendinginan, barang didinginkan sampai suhu tertentu di ruang vakum.
(7) Setelah barang dikeluarkan, ruang vakum ditutup, vakum dievakuasi ke l × l0-1Pa, dan pompa difusi didinginkan hingga suhu yang diizinkan sebelum pompa perawatan dan air pendingin dapat dimatikan.